Технологии

Я не зря сказал, что важно как организована откачка. В моем случае два турбомолекулярных насоса располагались на расстоянии метра. Если один выключить, то напротив работающего давление было 1E-7 а напротив выключеного 1E-5. И это при сечении камеры примерно 300x300 мм Кроме того ионный источник откачивался паромасляным насосом, но это совсем другая история. Вполне возможно при грамотно организованой откачке использовать таой разъем. Если натекание от него не шибко велико, то насос вполне может справиться с этим.