Об электронно-лучевой литографии я читал в советских книгах тыщадевятьсотлохматого года. Тогда писали, что метод удобный, но низкопроизводительный. МноголучОвость это правильный шаг, но результат будет зависеть от того, на сколько "много".
надо придумать объяснение этому мудизму, иначе рехнуться можно