JP111 (10.07.2015 21:40, просмотров: 293) ответил Evgeny_CD на IBM создала первые в мире чипы с топологией 7 нм -> Пока только транзюки, на самом деле. Каменты в большинстве интересные. Прикольконо, как на фотке атомная структура вещества уже хорошо видна.-
- насчёт подтравливания, помню что там вроде как анизотропное травление. в общем скорость травления существенно различается вдоль разных плосткостей кристаллической решётки. - Mahagam(11.07.2015 12:25)
- EUV Evgeny_CD(10.07.2015 23:20 - 23:24)
- Спасибо - JP111(11.07.2015 10:39)
- Был в конце июня на технологическом семинаре, посвящённом этой теме. Засвечивают рентгеном, сам "фотошаблон" размером ориентировочно 10*10см, без одной пылинки (один дефект - и в мусорку его). Делают такие установки в основном голландцы. Рентген scorpion(120 знак., 10.07.2015 22:55)
- шайтан - SciFi(10.07.2015 23:07)