16+
Воскресенье
16 декабря
Вход |Карта сайта | |Upload |codebook | PARTS

 О смысле всего сущего 0xFF

 Средства и методы разработки

 Мобильная и беспроводная связь

 Блошиный рынок Объявления

caxapa

Микроконтроллеры ARM 

AVR PIC MSP PLD,FPGA,DSP 

Кибернетика Технологии 

Схемы, платы, компоненты 

Технологии

 
   Новая тема Правила Регистрация Поиск »» Архив
Вернуться в конференциюТопик полностью
Evgeny_CD  (25.12.2017 23:16) , в ответ на Кстати, в прошлый раз так и не раскурили последний вариант «ионного принтера». Остановились на том, что сфокусированный «в нано» пучок нельзя отклонять (никакая отклоняющая система не переспорит фокусирующую), а плохо сфокусированный кроет всю автор: Николай Коровин
Все гораздо проще! Принцип Polaroid. 
1. Пусть все кристаллы имеют фиксированный размер - 10 х 10 мм, например, изначально смонтированы на транспортной подложке, и имеют штатные прицельные кресты - вытравлены в процессе подготовки "картриджа". 2. Все нанесение всегда - широким равномерным пучком. Пучком шире базового кристалла. 3. Наносим фоторезист и травим его пучком электронов. Для простоты одним пучком одной отклоняющей системой. Я в курсе, что это долго - но мы договорились, что у нас производительность низкая. 4. Шарашим ионами или еще чем надо. 5. Травим кристалл, наносим новый фоторезист. 6. "Картридж" имеет маскируемые зоны (хотя бы скотч манипулятором срываем), где находится что-то типа кварцевого резонатора. По изменению частоты оцениваем толщину нанесенной пленки. Т.е. нанесли. выключили пучек, измерили толщину, решили - надо ли наносить еще. Цели - получить себестоимость кристалла на выходе $100. С учетом всех затрат - картриджи, электричество, етс. Заметим, в случае травления электронным пучком у нас нет сильных ограничений по размеру топологии. Т.е. до десятков нм все более-менее линейно. Есть, конечно, много дополнительных вопросов - поддержание чистоты в камере и т.д., но они, на мой взгляд, линейные. Главное идея - картридж!
Главная | Карта сайта | О проекте | Проекты | Файлообменник | Регистрация | Вебмастер | RSS
Лето 7527 от сотворения мира. При использовании материалов сайта ссылка на caxapу обязательна.
MMI © MMXVIII