caxapa.ru :: Тут упоминалось о возможность УФ литографии делать узор с разрешением меньше длины волны. А где бы почитать посерьёзней, чем на Хабре?

Kpoк (20.01.2021 10:53, просмотров: 3725)

Тут упоминалось о возможность УФ литографии делать узор с разрешением меньше длины волны. А где бы почитать посерьёзней, чем на Хабре?

Ответить

- Есть сообщество инженеров точной механики. Выпускают свой журнал, проводят конференции. ASML там не на последнем месте. DSPE называется. Поищите среди ссылок и публикаций. - БAPMAЛEЙ(20.01.2021 15:35, ссылка)
  - Аналог нашей IIIE? Ну там слишком круто. Люди уже детали смакуют. - Kpoк(20.01.2021 16:25)
    - Архив журналов свободно скачивается. Лично мне очень хорошо зашло. - БAPMAЛEЙ(20.01.2021 18:31, ссылка)
      - Спасибо - antm(20.01.2021 22:16)
      - Сгоряча скачал №6 за 1994 год. Долго тупил. Потом понял, что по-голандски я не понимаю - Kpoк(20.01.2021 21:55)
        
        На голландском старые номера. Все свежие на английском. - БAPMAЛEЙ(20.01.2021 21:58)
        
        Да понял уже. - Kpoк(20.01.2021 22:01)
- У меня есть книга "Высокоразрешающие оптические системы", Аблеков В.К., Колядин С.А., Издательство "Машиностроение", 1985, 176 стр. Там есть вся матемктика по этой теме. Полагаю, в ГПНТБ должна быть эта книга. - Xaoc(20.01.2021 12:45, )
  - Спасибо. Ещё недавно, я нашёл бы её на букфи.орг Сейчас воспользуюсь Алибом. Да, а в ГПНТБ сейчас порнуха какая-то. Их же давно начали выселять туда, где они диссертации хранили. - Kpoк(20.01.2021 13:00)
- Это буржуйские учебники ПО технологиям полупроводникового производства курить надо. Я таких даже и не знаю. - Evgeny_CD(20.01.2021 11:44)
  - Возьмём чуть шире: разрешение лучше длины волны, это не обязательно литография, это, например, радиолокация. - Kpoк(20.01.2021 12:14)
    - По моему, в современнной литографии используют поляризованное излучение. - BlackMorda(20.01.2021 12:29)
      - Меня интересует в большей степени математика, нежели физика. Грубо говоря, как отличить две рядом стоящие Гауссианы от одной - Kpoк(20.01.2021 12:39)
        
        Есть смутная догадка, что задача экспозиции отличается от задачи локации. При локации нет ограничений на апертуру зондирующего луча. Зато при экспозиции не требуется собирать "в кучку" отраженный от непонятной поверхности сигнал. - my504(20.01.2021 14:03)
        
        Это уже потом. Для начала надо разобраться с основными идеями. - Kpoк(20.01.2021 14:09)

Технологии