Это да, Гольдшер " наше фсё" ... https://expert.ru/expert/2012/04/slozhit-nanopasyans/
"Последняя разработка советской фотолитографической установки (революционная по тем временам) с источником света на длине волны 248 нм была сделана в СССР в конце 1980-х минским предприятием «Планар» под научным руководством тогдашнего директора Физико-технологического института РАН академика РАН Камиля Валиева. Опытный образец установки, находившийся на «Планаре», судя по всему, в начале 1990-х был продан в Китай."