caxapa.ru :: Я немного в курсе во что это выливается при попытке реализации. Нафик, нафик, лучше пока светом.

БAPMAЛEЙ (08.10.2021 13:55, просмотров: 165) ответил General на Длина волны при EUV-литографии — 13,5 нанометров. Рентгеновская литография использует мягкое рентгеновское излучения с длиной волны 0.4-5.0 нм. Нахрена вообще EUV?? Даёшь микросхемы из каждого рентгеновского аппарата!!!

Я немного в курсе во что это выливается при попытке реализации. Нафик, нафик, лучше пока светом.

Ответить

- Это голландцам лучше. Даёшь вежливый русский рентген!!! - General(08.10.2021 14:11)
  - Дарю идею: "Зелёный Безуглеродный Рентген". И аббревиатуру GnC X-Ray - evgeniy1294(08.10.2021 14:22)
    - И всё-таки.. Представьте себе рентгеновский кинескоп с электромагнитным сведением луча. Вместо экрана -кремниевая пластина. Что не так? - General(08.10.2021 14:33)
      - На сколько я сведущ, в этом вопросе УФ используют не точкой, а "плоскостью" или "линейкой". При чем свет поляризованный. - misyachniy(08.10.2021 15:22)
      - Не надо представлять рентгеновский кинескоп, есть вполне рабочие установки с обычными электронными пушками. Их беда - низкая производительность. Очень низкая. - =AlexD=(08.10.2021 14:58)
        
        Не понял. Если ИС выпускается 10 лет, так пусть елозит хоть полгода. А развёртка так вообще мегагерцами может измеряться. - General(08.10.2021 15:19)
        
        Вероятно вы полагаете наличие фотошаблона? Их нет. Экспонируется напрямую пластина кремния. Степпер имеет производительность порядка 150 пластин в час. - my504(09.10.2021 14:22)
        
        Мне системно не нравятся фотошаблоны и зеркала - выжигать фоторезист надо прямо на кремнии. Мне говорят -малая производительность, так нам в России и нужна именно малая. - General(09.10.2021 14:35)
        
        Знаете сколько в среднем стоит комплект фото масок для не самой тонкой технологии? Производительность прямого экспонирования не просто маленькая, она вообще никакая. Полученные чипы будут стоить совершенно не адекватные деньги. - БAPMAЛEЙ(09.10.2021 15:29)
        
        Так статьи были уже, что для универов и других центров мини фабы закуплены. В Москве должны уже где то быть. Вроде в МГУ. - Visitor(09.10.2021 14:40)
        
        МИЭТ Зеленоград Нанофаб. - БAPMAЛEЙ(09.10.2021 15:30)
        
        Посмотреть бы... Но далеко. Может и у нас скоро купят. - Visitor(09.10.2021 15:33)
      - рентген электромагнитом отклоняется?? - Mahagam(08.10.2021 14:36)
        
        ну да, без всяких нанозеркал - General(08.10.2021 15:18)
        
        Это очень не простая задача. Внизу странички в комментариях есть упоминание кто этим занимался. - БAPMAЛEЙ(08.10.2021 17:30, ссылка)
        
        а из зала кричат: давай подробности! Как это незаряженную частицу можно отклонить? - Kpoк(08.10.2021 16:19)
        
        Лоханулся, вежливым рентгеном обозвал электронной -лучевую фотолитографию типа такой ---> - General(08.10.2021 17:37, ссылка)

Средства и методы разработки