bnb62 (04.03.2022 12:43, просмотров: 145) ответил Evgeny_CD на 13нм - это уже рентген
Граница между жёстким ультрафиолетом и мягким рентгеновским до сей
поры численно не определена. И даже размыта на порядок. Суть не в
терминологии, а в прикладной физике.