Chip_n_Go (13.03.2023 16:40, просмотров: 1) ответил POV на Досадно... "МЭМС для бесфотошаблонного EUV-литографа в рамках НИР
сделать не удалось"
Чувствуется какая-то лажа: взять готовую TI МЕМС-платформу и
пытаться напылить на нее многослойное рентгеновское зеркало.
Особенно доставил третий заход когда все закоротило нахрен.
Явственно нужен обратный подход - создать сегментированное зеркало
нужного качества, а потом сегменты пересаживать на привод.