Уже придумали. По интерферометрам смотрим старые статьи Хьюлетт
Паккард. Их довольно много в сети. По шпинделю с динамическим
компенсатором положения, если не ошибаюсь, были статьи у ИБАГа. По
компенсации люфтов в ШВП пьезоприводом смотрите у немецкого Физикс
Инструментс.