В конце 80х работал в СФТИ, там по заказу НИИПП установку
картографирования срезов ПП делали, хоть кремний, хоть арсенид
галлия. Измерение комплексного сопротивления ПП на СВЧ позволяло
прогнозировать выход готовых изделий и оценить качество входного
среза. Сделали, а толку то, все развалили.