caxapa.ru :: Это круто, но из чего она? Оптическая фотолитография в видимом свете умерла давно. Для УФ годится далеко не всякое стекло. В любом случае любая фотолитография на 193нм это точно не передний край. Как делают фотошаблоны для EUV я не знаю, но для литографа EUV такая линза сгодится только как камень для гашения вибрации

Evgeny_CD, Архитектор (12.06.2023 14:51 - 14:57, просмотров: 77) ответил Codavr на Самое большое асферическое зеркало в мире сделали в Чанчуньском институте оптики, точной механики и физики. Четыре с лишним метра. Такие используют в литографии. Китай активно двигается не просто в сторону импортозамещения чипострогальных станков, а в сторону обладания полным стеком технологий для этого.

Это круто, но из чего она? Оптическая фотолитография в видимом свете умерла давно. Для УФ годится далеко не всякое стекло. В любом случае любая фотолитография на 193нм это точно не передний край. Как делают фотошаблоны для EUV я не знаю, но для литографа EUV такая линза сгодится только как камень для гашения вибрации - там зеркала используют.

Ответить

- В сети есть схема оптическая, как собираются безмасочную литографию сделать. Там без МЭМС зеркал никак. Как понимаю, все же на пьезоэлектриках делается. - Visitor(12.06.2023 15:06)
  - Деформируемые зеркала матрицей пьезоприводов. - БAPMAЛEЙ(13.06.2023 08:49)
- Зеркало это, а не линза. - Codavr(12.06.2023 14:52)
  - Тьфу, меня переклинило. - Evgeny_CD(12.06.2023 14:53)
    - Зато какую портянку накатал :))) - Codavr(12.06.2023 14:54)
      - Грешно издеваться над убогими - Evgeny_CD(12.06.2023 14:58)

0xFF