Бть какаято творится (извиняюсь). Немог залогиниться полдня. как я
понимаю запредельных нанометров нету. более того ну очень стойкое
очучение что они с кенон договорились и держатся немного позади
топовых нм. оптика у АСМЛ выглядит круче всех (потому что понятно
откуда она), ну и никон заявляет что у них пока максимум DUV.
Степперы выглядят вполне благопристойно. Не понял почему отдельно
говорят про GaN, силовуху и светодиоды при вполне нормальных
нанометрах чего хватит
на
мелкоконтроллеры и
прочую мелочь, но видимо маркетинг.