Codavr (16.04.2024 17:06, просмотров: 46) ответил _volkanaft_ на Я думаю, с установками ионной имплантации были те же проблемы! :-)
Там камеры постоянно под высоким вакуумом примерно 10е-7 паскалей,
и со спиртом туда никто не лезет пока чонить не сломается. Жлюз
тоже спиртом если и протирать, то только если он вакуум не держит,
но это уже поломка и эксплуатавия имплантера просто не возможна.
Пластины в шлюз загружаются в кассете штук на 30 и вынимаются тоже
в кассете. Кароче не вижу причин брака если персонал протрет не
предусмотренные регламентом оптические оси :)
Долой империалистический интернационал!