Технологии

В России произведены первые лазеры для литографии. 

На предприятии «Лассард» изготовлены первые опытные образцы эксимерного лазера, который является ключевым для литографического процесса изготовления микроэлектроники с нормами проектирования вплоть до 65 нм. Лазер дает возможность модифицировать характеристики в сторону более тонкой топологии.

«Лассард» выступает как разработчик эксимерного лазера для литографа. Саму же литографическую установку разрабатывает Зеленоградский нанотехнологический центр. Срок ее поставки – 2026 год, но потенциальные заказчики уже есть. Прежде всего, это, конечно, «Микрон», который заинтересован в масштабировании своего производства и на 130 нм, и на 90 нм, и на 65 нм, где по последней топологии есть пока только опытное производство и есть потребность перевести его в серийное.

В следующем году лазеры разработанные «Лассард» будут поставлены в Зеленоградский нанотехнологический центр для испытаний совместно с литографом на 130 нм. После 2026 года эти лазеры пойдут в серийное производство — будет производиться не менее 5 шт. в год.

Пять литографических установок в год — это уже хороший результат, поскольку они позволят запустить и масштабировать уже существующие в России производства и наладить промышленный выпуск отечественной микроэлектроники, в частности, таких чипов как MIK32 «Амур», использующие систему команд RISC-V.

Источник: Лассард

https://t.me/reversperspektive/5865