"Литографы для современных техпроцессов в Россию не продают. Но в
нулевых годах российскому заводу «Микрон» удалось приобрести
литографические линии на 180 и 90 нм. Сегодня даже такие установки
Запад в Россию не продаёт, но, по слухам, литографы уровня 180-90
нм нам недавно вроде бы поставил Китай (но это не точно)." https://tehnoomsk.ru/archives/17218