Для турбомолекулярного насоса важно, что бы поток охлаждающей воды
был не ниже определенного значения, которое можно посмотреть в
документации на насос. Название, надеюсь у него есть? Берете любой
подходящий измеритель и создав нужный поток, просто нормируете его
выход.