Там координатный 5 осевой левитирующий в магнитном поле стол нужен
с соотвествующей точностью, деформируемые управляемые зеркала,
система совмещения, ннтерферометры. Наши древний Хюлетт всё никак
не скопируют, первому из которых скоро пол века будет, а у него
разрешение было всего 10 нанометров. Кстати, как они совмещают на
нанометровых размерах, как выглядят реперные знаки или что там
сейчас? В моей молодости всё было просто - загнал руками под
микроскопом в каждом углу крест на пластине в крест на шаблоне и готово.
БAPMAЛEЙ (Вчера, 03:15, просмотров: 73) ответил Ralex на Если смогли сделать ксеноновый источник с нужными параметрами, то
это вполне себе хорошо. Не прорыв, но отлично - почти уверен что
источник на парах олова менее стабилен и более сложен в
производстве и применении. Но конечно основная проблема не в
источнике, литограф сам по себе не работает, рядом ещё нужен
нехилый химический завод сверхчистых материалов.