-
- Условно примем что теперь у нас есть суверенные 1/3 EUV литографа
(источник излучения на базе синхротрона), осталось найти остальные
2/3: многослойную проекционную оптику и систему совмещения с
нанометровой точностью... - Chip_n_Go_23(11.08.2026 19:13,
)
- У вас - это в Швеции? - Kpoк(11.08.2026 19:37)
- Условно примем что теперь у нас есть суверенные 1/3 EUV литографа
(источник излучения на базе синхротрона), осталось найти остальные
2/3: многослойную проекционную оптику и систему совмещения с
нанометровой точностью... - Chip_n_Go_23(11.08.2026 19:13,