Есть понятие площади красталла - чем тоньше процесс, тем она меньше и больше кристаллов получаются с одной 300 мм пластины. Себестоимость снижается, несмотря на более дорогой комплект масок масок. Дополнительно получаем более высокие частоты и более низкое тепловыделение.