caxapa.ru :: На данный момент EUV не вышла из лабораторий. До 45 нм используют традиционную, а меньше

=AlexD= (19.07.2010 19:19, просмотров: 129) ответил koyodza на вот про жесткий УФ и технологии порядка 100 нм

На данный момент EUV не вышла из лабораторий. До 45 нм используют традиционную, а меньше - иммерсионную литографию.

Это моё личное предвзятое мнение. Любое совпадение с реальностью является случайным и непреднамеренным.

Средства и методы разработки