=AlexD= (19.07.2010 19:19, просмотров: 128) ответил koyodza на вот про жесткий УФ и технологии порядка 100 нм
На данный момент EUV не вышла из лабораторий. До 45 нм используют традиционную, а меньше - иммерсионную литографию.
Это моё личное предвзятое мнение. Любое совпадение с реальностью является случайным и непреднамеренным.