ВходНаше всё Теги codebook 无线电组件 Поиск Опросы Закон Четверг
17 апреля
202451 Топик полностью
=AlexD= (19.07.2010 19:19, просмотров: 128) ответил koyodza на вот про жесткий УФ и технологии порядка 100 нм
На данный момент EUV не вышла из лабораторий. До 45 нм используют традиционную, а меньше - иммерсионную литографию. 
Это моё личное предвзятое мнение. Любое совпадение с реальностью является случайным и непреднамеренным.