Evgeny_CD, Архитектор (06.02.2011 21:50, просмотров: 261) ответил Evgeny_CD на Новая гонка на рынке полупроводниковых технологий. Подоборка постов. Анализ потом сделаю.
Samsung Electronics получила первую установку для EUV-литографии -> Разрешение NXE:3100 равно 27 нм, числовая апертура (NA) — 0,25, при этом достигается точность позиционирования не хуже 4,5 нм, а пропускная способность равна 60 пластин в час. http://www.ixbt.com/news/all/index.shtml?14/29/41
Цена предсерийного образца EUV-сканера составляет почти 90 млн. долларов.