Микроконтроллеры

ИМХО, задача почти нерешаемая, так как изменения ёмкости на столь малую велчину много меньше изменения параметров схемы под воздействием температуры, влажности атмосферного давления и Бог знает чего ещё, но можно попробовать сделать так: Я бы попробовал смастрячить стабильный генератор, где в контуре - измеряемая ёмкость. Способов очень-очень точно мерить частоту существует несколько, но вот при таких значениях ёмкости это будет СВЧ, да и ставильность даже самого добротного LC контура сопоставима с требуемой точностью измерений. Жопа, в общем. наверное более правильным будет поискать альтернативные пути решения поставленной задачи вообще, а не в частности. Так сказать подумать в сторону измерения более весомых физических величин, чем фемтофарады.