Убери R9 и подай _500_кГц. Ибо до сотни-другой кГц особых спецэффектов можно не ждать. Может я не умею их готовить, но биполярный транзистор в режиме насыщения невозможно достаточно быстро закрыть. В итоге будет кипятиться. Да и 561 серия весьма не быстра. Хотя может в этом и секрет, как и в VD1/VD2 и R1, из-за которых фронты весьма заваленные и переключение противоположного элемента ЛН2 начинается с небольшой задержкой, чтоб транзистор успел как раз. Шаманство... В контроллерах профессионального уровня модуль output compare умеет для того работу в режиме управления (полу)мостом и задержки эти программируются, чтоб сквозняков не было.