Новое подсемейство Атмеля. ATSAMG51 (256 флеш 64 памяти 48 Мгц Cortex-M4 с плавучкой), ATSAMG53 (512 флеш 96 памяти 48 Мгц Cortex-M4 с плавучкой). Дока внутри. Вроде как заточено под маложручесть. Event System. 100 µA/MHz in active. 3 µs wake-up from deep sleep to executing the first instruction in active mode.