Я бы взял мембрану из нержавеющей стали, а деформацию этой мембраны измерял бы при помощи лазерного интерферометра. Будет надёжнее, чем ёмкостной, у которого будет ещё зависимость от температуры, давления и состава воздуха, который работает диэлектриком в вашем конденсаторе.