Об электронно-лучевой литографии я читал в советских книгах тыщадевятьсотлохматого года. Тогда писали, что метод удобный, но низкопроизводительный. МноголучОвость это правильный шаг, но результат будет зависеть от того, на сколько "много".
Это моё личное предвзятое мнение. Любое совпадение с реальностью является случайным и непреднамеренным.