caxapa.ru :: Количество тех. операций на тонких техпроцессах растет. Т.е. помимо роста стоимости комплекта шаблонов еще и растут затраты времени и реактивов на возню с ними. -> Двойное экспонирование

Evgeny_CD^{Архитектор} (24.11.2014 23:34, просмотров: 83) ответил ANV на Сомневаюсь что весь сыр бор ради закона Мура, наверное переход к FinFET всё таки решает какие то технологические проблемы которые на бОльших техпроцессах не создают существенных проблем.

Количество тех. операций на тонких техпроцессах растет. Т.е. помимо роста стоимости комплекта шаблонов еще и растут затраты времени и реактивов на возню с ними. -> Двойное экспонирование http://conf.mirea.ru/CD2012/pdf/p3/16.pdf

Ответить

Средства и методы разработки