caxapa.ru :: Был в конце июня на технологическом семинаре, посвящённом этой теме. Засвечивают рентгеном, сам "фотошаблон" размером ориентировочно 10*10см, без одной пылинки (один дефект - и в мусорку его). Делают такие установки в основном голландцы. Рентген

scorpion (10.07.2015 22:55, просмотров: 269) ответил JP111 на Возникает куча вопросов. Интересно, чем такое "засвечивают". И с чего проецируют. И какая должна быть длина светочувствительной молекулы. И как при травлении не допустить подтравливания. И как нанести светочувствительный слой настолько равномерным

Был в конце июня на технологическом семинаре, посвящённом этой теме. Засвечивают рентгеном, сам "фотошаблон" размером ориентировочно 10*10см, без одной пылинки (один дефект - и в мусорку его). Делают такие установки в основном голландцы. Рентген сейчас модно получать помещая каплю олова в фокус параболического зеркала и тыкая в неё сверхмощным импульсом лазера.

Ответить

- шайтан - SciFi(10.07.2015 23:07)

Средства и методы разработки