caxapa.ru :: насчёт подтравливания, помню что там вроде как анизотропное травление. в общем скорость травления существенно различается вдоль разных плосткостей кристаллической решётки.

Mahagam (11.07.2015 12:25, просмотров: 211) ответил JP111 на Возникает куча вопросов. Интересно, чем такое "засвечивают". И с чего проецируют. И какая должна быть длина светочувствительной молекулы. И как при травлении не допустить подтравливания. И как нанести светочувствительный слой настолько равномерным

насчёт подтравливания, помню что там вроде как анизотропное травление. в общем скорость травления существенно различается вдоль разных плосткостей кристаллической решётки.

Ответить

Средства и методы разработки