Если ваша цель проверка совместимости, то вам лучше взять максимальное количество разных OPC-серверов и попробовать состыковать прибор с каждым. Т.к. у каждого сервера свои нюансы/прибабахи. Может обнаружиться ситуация когда OPC-сервер просто невозможно настроить на получение нужных данных или подачу такого запроса на который расчитан ваш прибор - нет нужных функций или настроек.
Список активно используемых OPC-серверов для Modbus примерно такой:
Lectus OPC
Modbus Universal MasterOPC Server (может понадобиться относительно современный компьютер, т.к. сервер использует команды которых не было в совсем старых процессорах)
OPC фирмы Круг
KEPServerEX
Matrikon Modbus OPC Server for Modbus Devices
Кроме того, можно попробовать:
Fastwel Modbus OPC
Modbus OPC сервер фирмы Комплексные Ситемы (отличается нестабильным обменом данными с устройством, но зато ничего не стоит)
OPCTechs Modbus OPC
Automated Solutions Modbus OPC Server
Danfoss ECL Modbus OPC Server (не смотря на название, вполне универсальный OPC для Mosbus, раньше свободно скачивался с сайта Данфоса, где конкретно можно взять сейчас - не знаю)
Микрол MODBUS OPC Server
OPC от WinTECH
Не стоит пробовать:
NAPOPC производства ICP-DAS, он наверняка не состыкуется с вашими приборами, в него специально заложена несовместимость с "чужим" оборудованием.
OPC сервер распространявшийся с modbusopc.com - не работоспособен
Практически все или имеет демонстрационные версии или распространаяется бесплатно.