=mse= (14.02.2004 11:55, просмотров: 1) ответил SM на Не угадал
ну да, как-же ;О) а толщину плёнок, глубину диффузии, толщину и проводимость эпитаксиальных слоёв, подвижность носителей.......... на каждый кристалл тоже? ;О). На каждой пластине есть 4-10 тестовых областей на которых в процессе производства пластины про изводятся спец измерения... там сформированы спец. структуры типа типового транзистора, кольцевого генератора и т.п. и в продвижении пластины по линии производится контроль параметров после КАЖДОЙ операции. ;О)