Интересная статья про разные аспекты "тонконаномерных" процессов. -> Обратите внимание на количество масок в таблицах: http://www.eetimes.com/document.asp?doc_id=1332328 22...28 нм - под 50 масок
продвинутый 22 - "всего" 36 масок
12...14 - под 70 масок
7 - 88 масок!
Шизуха ежиков косила...