Вакуумное напыление практически любого хорошо проводящего металла. Лучше всего золото и медь, они давят длины волн короче 0.6мкм. С точки зрения коррозии - золото, родий, алюминий. Для алюминия рекомендуют дополнительно напылять плёнку оксида кремния
ps Чередование плёнок Al и SiO позволяет сделать "тёмное" зеркало, которое хорошо отражает от 2мкм и длиннее
pps без металла в этой задаче не обойтись. Главное требование - хорошая проводимость (формула Друде)