Я почему-то уверен, что в большинстве (во всех?) MEMS с точностью лучше +/-100ppm синтезатор частот или программируемый делитель. У структуры MEMS частота какая получилась, на такой и работает. Точное выходное значение получается после синтезатора или просто делителя, работа которого программируется с учётом компенсаций температуры и напряжения. Дрейфы резонаторов характеризуются для всей партии. Потом каждый генератор индивидуально программируется на свою частоту плюс кривые компенсаций. Поэтому производители готовы быстро поставлять генераторы на любые номиналы в пределах возможностей чипа. Но отсюда же и фундаментальный недостаток - джиттер ФАПЧ или делителя. Причём коэффициенты деления плавают в зависимости от условий работы. Поэтому и спектр фазового шума тоже плавающий.
Не вижу смысла пытаться сделать структуру MEMS прецизионной, если можно все компенсации выполнить программно, цифровыми методами. Отсюда и дешевизна, и гибкость MEMS-генераторов. В противном случае проще сделать прецизионный кварцевый резонатор.
Написанное выше - мои домыслы.