mse homjak (27.03.2019 23:26, просмотров: 205) ответил Evgeny_CD на [3D принтер с разрешением 160 нм] -> маску из фоторезиста на поверхности кремния можно просто напечатать! Хотя бы 250 нм - уже вполне интересно для штучного производства мсх!!!-
- Они говорят про фотополимер - вероятно, рисуют они все же лазером. - Evgeny_CD(28.03.2019 00:09)