Незнаю, вразумительно или нет, но вот моё ИМХО относительно Cortex-M3: 1 Чуть проще ядро (нет многочисленных режимов обработок исключений)
2 Потребляет ядро значительно меньше
3 Наличие более мощного контроллера прерываний NVIC
4 Наличие SWD режима отладки (похож на BDM от Motorola)
5 8 аппаратных контрольных точек
5 Thumb-2 (говорили о нём здесь достаточно много)