caxapa.ru :: Я не доучился по специальности инженер - оптик - исследователь :-) Армия. Но по сути, чем лазер от куска волновода или другого резонатора отличается? А спектры газов разные. Скажем, какую длину волны использует ASML для литографии порядка 5 нМ? Я тоже не знаю:-)

Visitor (27.02.2022 17:39, просмотров: 197) ответил Evgeny_CD на Причем такое ощущение, что этот буерный газ в эксимерном лазере расходуется в приличном количестве.

Я не доучился по специальности инженер - оптик - исследователь :-) Армия. Но по сути, чем лазер от куска волновода или другого резонатора отличается? А спектры газов разные. Скажем, какую длину волны использует ASML для литографии порядка 5 нМ? Я тоже не знаю:-)

Ответить

- ~13 нм Там капли олова летят, а их испаряют лазером :) - Evgeny_CD(27.02.2022 18:10)
  - Статья Evgeny_CD(1 знак., 04.03.2022 13:22, ссылка)
  - Зачем олово в процессе литографии? Или шутка такая. Как арсенид галлия производится в печке, монокристалл, представляю, как его на пластины режут, догадываюсь (болгаркой:-)) А вот что дальше происходит не в курсе. - Visitor(27.02.2022 21:28)
    - Пары олова излучают жоский УФ. - mse homjak(27.02.2022 21:33)
      - 13нм - это уже рентген - Evgeny_CD(04.03.2022 12:13)
        
        Граница между жёстким ультрафиолетом и мягким рентгеновским до сей поры численно не определена. И даже размыта на порядок. Суть не в терминологии, а в прикладной физике. - bnb62(04.03.2022 12:43)
        
        АСМЛ работают в дальнем УФ. - mse homjak(04.03.2022 12:14)

Средства и методы разработки