caxapa.ru :: Зачем олово в процессе литографии? Или шутка такая. Как арсенид галлия производится в печке, монокристалл, представляю, как его на пластины режут, догадываюсь (болгаркой:-)) А вот что дальше происходит не в курсе.

Visitor (27.02.2022 21:28, просмотров: 209) ответил Evgeny_CD на ~13 нм Там капли олова летят, а их испаряют лазером :)

Зачем олово в процессе литографии? Или шутка такая. Как арсенид галлия производится в печке, монокристалл, представляю, как его на пластины режут, догадываюсь (болгаркой:-)) А вот что дальше происходит не в курсе.

Ответить

- Пары олова излучают жоский УФ. - mse homjak(27.02.2022 21:33)
  - 13нм - это уже рентген - Evgeny_CD(04.03.2022 12:13)
    - Граница между жёстким ультрафиолетом и мягким рентгеновским до сей поры численно не определена. И даже размыта на порядок. Суть не в терминологии, а в прикладной физике. - bnb62(04.03.2022 12:43)
    - АСМЛ работают в дальнем УФ. - mse homjak(04.03.2022 12:14)

Средства и методы разработки