Нет полировка и резка пластин, достаточно простое занятие.
механическая, химческая, мобуть какая плазменная. А вот химическая
чистота пластины и реактивов, наоборот. Некоторые примеси, типа
меди убивают подвижность носителей вусмерть. Да и выращивание
собсно кристалла, тоже. там целая наука, борьба с дислокаццыями. Что касаемо фотошаблонов, думаю, не так всё печально. Если запилят такую установку, наверняка её можно будет пользовать под изготовление шаблонов.
http://caxapa.ru/1180765.html