Codavr (13.05.2022 09:51, просмотров: 104) ответил =AlexD= на А маски на чём делаются? Особенно для 7нм-1нмДолой империалистический интернационал!
-
- По логике вещей, маски должны использовать идеальный кремний диаметром не более 200мм. Это даёт где-то чуть более одного порядка уменьшения линейных размеров при фотоэкспонировании. А ещё учитываем то, что всё что ниже 28нм - это фокусы с интерференцией и плотностью компоновки, то получается что сам шаблон должен делаться с точностью как-раз в +-28нм. И на чём его делать? Только на установках электронной литографии. Шаблонов нужно немного и делать их можно медленно. - =AlexD=(13.05.2022 10:26)