ВходНаше всё Теги codebook 无线电组件 Поиск Опросы Закон Среда
14 мая
О смысле всего сущего0xFF Средства и методы разработки Мобильная и беспроводная связь Блошиный рынокОбъявления
МикроконтроллерыPLD, FPGA, DSP AVRPICARM, RISC-VТехнологии Кибернетика, автоматика, протоколы Схемы, платы, компоненты
1318985 Топик полностью
Visitor (12.06.2023 15:06, просмотров: 85) ответил Evgeny_CD на Это круто, но из чего она? Оптическая фотолитография в видимом свете умерла давно. Для УФ годится далеко не всякое стекло. В любом случае любая фотолитография на 193нм это точно не передний край. Как делают фотошаблоны для EUV я не знаю, но для литографа EUV такая линза сгодится только как камень для гашения вибрации - там зеркала используют.
В сети есть схема оптическая, как собираются безмасочную литографию сделать. Там без МЭМС зеркал никак. Как понимаю, все же на пьезоэлектриках делается. 
Ответить