На сколько я знаю, все попытки рентгеновской литографии провалились
из-за слабых источников. Поэтому додумались испарять лазером
капельку. Источник хоть и не когерентный, но зато почти точечный, с
этим уже можно работать.
надо придумать объяснение этому мудизму, иначе рехнуться можно