Codavr (19.09.2023 19:15, просмотров: 3900)Долой империалистический интернационал!
-
- До конца монополии как до китая раком... Ускоритель электронов +
ондулятор в качестве источника EUV 13.5 nm
[www.euvlitho.com/2017/P18.pdf] - это был изначальный вариант до
момента пока Cymer + физтехи не допилили источник на плазме олова.
Такая схема позволяет изменять длинну волны, но весь оптический
тракт + многослойные зеркала + маски + резист расчитан под
определенную длинну волны и все надо переделывать [3dnews Chip_n_Go(132 знак., 21.09.2023 01:56,
)
- Спасибо! Ссылка. Интересно Evgeny_CD(1 знак., 21.09.2023 14:01, ссылка)
- Хоть какие-то подробности Evgeny_CD(1 знак., 20.09.2023 23:13, ссылка)
- Подробности про это кольцо. БAPMAЛEЙ(1 знак., 21.09.2023 01:00, ссылка)
- Вот так звучит прогресс на планете Земля в третьем десятилетии 21 века :) - Evgeny_CD(21.09.2023 01:06)
- Мысль дурная возникла. Возможно, основная фишка - управление длиной
волны синхротронного излучения. Evgeny_CD(316 знак., 21.09.2023 00:23)
- Сдаётся мне что туча сложнейших зеркал в EUV проекторе - это как раз фильтр дикого некогерентного излучения. При наличии хорошего лазера всё сильно упрощается, а изменение длины волны позволит подобрать маски с бОльшим ресурсом. А в перспективе добиться атомарной точности проекции. - =AlexD=(21.09.2023 09:05)
- КПД оптической системы роялит ещё и потому, что поглощение оную
оптику нагревает и выводит из строя. - LightElf(21.09.2023 01:03)
- Это понятно. Но можно найти баланс. Между потерями на
"диафрагмирование" и качеством изображения. - Evgeny_CD(21.09.2023 01:07)
- Там такой ворох проблем что пока и без изменения длинны волны
неплохо работается - по EUV зеркала: habr.com/ru/articles/582510. - Chip_n_Go(21.09.2023 02:18)
- Спасибо! Ссылка Evgeny_CD(1 знак., 21.09.2023 14:09, ссылка)
- Там такой ворох проблем что пока и без изменения длинны волны
неплохо работается - по EUV зеркала: habr.com/ru/articles/582510. - Chip_n_Go(21.09.2023 02:18)
- Это понятно. Но можно найти баланс. Между потерями на
"диафрагмирование" и качеством изображения. - Evgeny_CD(21.09.2023 01:07)
- Подробности про это кольцо. БAPMAЛEЙ(1 знак., 21.09.2023 01:00, ссылка)
- Перевёл аннотацию ко второму видео. Ни слова об ускорителях.
Наоборот, речь о получении достойных параметров для традиционного
техпроцесса. То что хотел Интел но нешмог. Похоже для китайцев это
стало делом принципа. =AlexD=(1413 знак., 20.09.2023 08:35 - 09:20)
- Встретилась интересная фраза - многократная экспозиция. Похоже на китайский вариант фазовой коррекции в фотошаблонах. - БAPMAЛEЙ(20.09.2023 10:29)
- Что то этот первый фильм напоминает как раз ускоритель. Источник
мягкого рентгена для коллективной работы . На конце каждого
солнечного лучика установка литографии. - БAPMAЛEЙ(20.09.2023 08:57 - 09:03)
- Во втором это символизирует пройденный путь и достигнутые
достижения. Как полёт луча света в литографе. Везде в фильме
показывают обычный литограф ASML с системой линз. Видимо китайцы
сумели его допилить до новых нанометров (точнее до более плотной
компоновки). - =AlexD=(20.09.2023 09:02 - 09:23)
- Второй фильм действительно интересный. Вскользь показаны некоторый
интересные нюансы, которые обычно скрывают. Подобное кино у нас
обычно смотрят все вместе на больном мониторе отдельными кадрами с
обсуждением увиденного. - БAPMAЛEЙ(20.09.2023 09:10)
- Да, я бы тоже посмотрел в переводе. - =AlexD=(20.09.2023 09:12)
- Второй фильм действительно интересный. Вскользь показаны некоторый
интересные нюансы, которые обычно скрывают. Подобное кино у нас
обычно смотрят все вместе на больном мониторе отдельными кадрами с
обсуждением увиденного. - БAPMAЛEЙ(20.09.2023 09:10)
- По первому фильму ничего не понятно. Но возможно, да. - =AlexD=(20.09.2023 09:15)
- Во втором это символизирует пройденный путь и достигнутые
достижения. Как полёт луча света в литографе. Везде в фильме
показывают обычный литограф ASML с системой линз. Видимо китайцы
сумели его допилить до новых нанометров (точнее до более плотной
компоновки). - =AlexD=(20.09.2023 09:02 - 09:23)
- Просмотрел видео. Оно похоже об истории развития и физике работы иммерсионной фотолитографии. И последних достижениях. - =AlexD=(20.09.2023 08:51)
- оччень интересно но них не понятно - =AlexD=(19.09.2023 22:09)
- Китайцы завод вовсю строят который будет рисовать чипы с помощью
ускорителя. Причем производительность какая то ниупиздная. Идейку в
Стэнфорде толкнули на том и успокоились, а китайцы это дело
проверили и оказалось все заибись. Ну и не стали сопли жевать. - Codavr(19.09.2023 23:39)
- Вероятно строят не завод, а экспериментальную установку, ускоритель
в первую очередь. Как я понял это попытка зафигачить рентгеновский
импульсный лазер приличной мощности. - =AlexD=(20.09.2023 09:22)
- Там вовсе не мощность нужна, а качество луча, максимально
равномерный и коллимированный. - БAPMAЛEЙ(20.09.2023 09:55)
- На сколько я знаю, все попытки рентгеновской литографии провалились
из-за слабых источников. Поэтому додумались испарять лазером
капельку. Источник хоть и не когерентный, но зато почти точечный, с
этим уже можно работать. - =AlexD=(20.09.2023 10:10)
- У китайцев когерентный ультрафиолет. - Codavr(22.09.2023 07:19)
- На сколько я знаю, все попытки рентгеновской литографии провалились
из-за слабых источников. Поэтому додумались испарять лазером
капельку. Источник хоть и не когерентный, но зато почти точечный, с
этим уже можно работать. - =AlexD=(20.09.2023 10:10)
- Там вовсе не мощность нужна, а качество луча, максимально
равномерный и коллимированный. - БAPMAЛEЙ(20.09.2023 09:55)
- ASML в страшной опасности - может обоссаться от смеха Evgeny_CD(800 знак., 20.09.2023 01:09)
- А яйцы под трамвай положишь, коль окажется, что ASML обоссалось но не от смеха? - Codavr(20.09.2023 02:07)
- Вероятно строят не завод, а экспериментальную установку, ускоритель
в первую очередь. Как я понял это попытка зафигачить рентгеновский
импульсный лазер приличной мощности. - =AlexD=(20.09.2023 09:22)
- Китайцы завод вовсю строят который будет рисовать чипы с помощью
ускорителя. Причем производительность какая то ниупиздная. Идейку в
Стэнфорде толкнули на том и успокоились, а китайцы это дело
проверили и оказалось все заибись. Ну и не стали сопли жевать. - Codavr(19.09.2023 23:39)
- До конца монополии как до китая раком... Ускоритель электронов +
ондулятор в качестве источника EUV 13.5 nm
[www.euvlitho.com/2017/P18.pdf] - это был изначальный вариант до
момента пока Cymer + физтехи не допилили источник на плазме олова.
Такая схема позволяет изменять длинну волны, но весь оптический
тракт + многослойные зеркала + маски + резист расчитан под
определенную длинну волны и все надо переделывать [3dnews Chip_n_Go(132 знак., 21.09.2023 01:56,