До конца монополии как до китая раком... Ускоритель электронов +
ондулятор в качестве источника EUV 13.5 nm
[www.euvlitho.com/2017/P18.pdf] - это был изначальный вариант до
момента пока Cymer + физтехи не допилили источник на плазме олова.
Такая схема позволяет изменять длинну волны, но весь оптический
тракт + многослойные зеркала + маски + резист расчитан под
определенную длинну волны и все надо переделывать [3dnews .ru/1074772/sverhgyostkiy-ultrafiolet-euv-v-poluprovodnikovoy-litografii]. Хотя это проще чем сделать новый источник на менее 13 nm.
Chip_n_Go (21.09.2023 01:56, просмотров: 4) ответил Codavr на Похоже наступает кирдык монополии ASML в производстве EUV.