Evgeny_CD, Архитектор (21.09.2023 14:01, просмотров: 97) ответил Chip_n_Go на До конца монополии как до китая раком... Ускоритель электронов +
ондулятор в качестве источника EUV 13.5 nm
[www.euvlitho.com/2017/P18.pdf] - это был изначальный вариант до
момента пока Cymer + физтехи не допилили источник на плазме олова.
Такая схема позволяет изменять длинну волны, но весь оптический
тракт + многослойные зеркала + маски + резист расчитан под
определенную длинну волны и все надо переделывать [3dnews
Evgeny_CD, Архитектор (21.09.2023 14:01, просмотров: 97) ответил Chip_n_Go на До конца монополии как до китая раком... Ускоритель электронов +
ондулятор в качестве источника EUV 13.5 nm
[www.euvlitho.com/2017/P18.pdf] - это был изначальный вариант до
момента пока Cymer + физтехи не допилили источник на плазме олова.
Такая схема позволяет изменять длинну волны, но весь оптический
тракт + многослойные зеркала + маски + резист расчитан под
определенную длинну волны и все надо переделывать [3dnews