=AlexD= (21.09.2023 09:05, просмотров: 83) ответил Evgeny_CD на Мысль дурная возникла. Возможно, основная фишка - управление длиной
волны синхротронного излучения.
Сдаётся мне что туча сложнейших зеркал в EUV проекторе - это как
раз фильтр дикого некогерентного излучения. При наличии хорошего
лазера всё сильно упрощается, а изменение длины волны позволит
подобрать маски с бОльшим ресурсом. А в перспективе добиться
атомарной точности проекции.
Это моё личное предвзятое мнение. Любое совпадение с реальностью является случайным и непреднамеренным.