caxapa.ru :: Мысль дурная возникла. Возможно, основная фишка - управление длиной волны синхротронного излучения.

Evgeny_CD, Архитектор (21.09.2023 00:23, просмотров: 145) ответил Evgeny_CD на Хоть какие-то подробности

Мысль дурная возникла. Возможно, основная фишка - управление длиной волны синхротронного излучения.

Эксимерные лазеры, испаряющееся олово один из них, имеют фиксированный набор длин волн. И все оптику, фотошаблоны подгоняют под это.

Если сделать источник с "немного другой длиной волны", мощный и яркий, возможно, зеркала и фотошаблоны станут дешевле, а высокая яркость позволит не париться об КПД оптический системы.

Ответить

- Сдаётся мне что туча сложнейших зеркал в EUV проекторе - это как раз фильтр дикого некогерентного излучения. При наличии хорошего лазера всё сильно упрощается, а изменение длины волны позволит подобрать маски с бОльшим ресурсом. А в перспективе добиться атомарной точности проекции. - =AlexD=(21.09.2023 09:05)
- КПД оптической системы роялит ещё и потому, что поглощение оную оптику нагревает и выводит из строя. - LightElf(21.09.2023 01:03)
  - Это понятно. Но можно найти баланс. Между потерями на "диафрагмирование" и качеством изображения. - Evgeny_CD(21.09.2023 01:07)
    - Там такой ворох проблем что пока и без изменения длинны волны неплохо работается - по EUV зеркала: habr.com/ru/articles/582510. - Chip_n_Go(21.09.2023 02:18)
      - Спасибо! Ссылка Evgeny_CD(1 знак., 21.09.2023 14:09, ссылка)
        
        До меня дошло, почему за мощность источника бьются - там десяток зеркал в системе, и КПД каждого совсем не 100%. На выходе имеем тусклый лучик. - Evgeny_CD(21.09.2023 14:10)

Технологии