Evgeny_CD, Архитектор (20.09.2023 23:13, просмотров: 120) ответил Codavr на Похоже наступает кирдык монополии ASML в производстве EUV.-
- Подробности про это кольцо. БAPMAЛEЙ(1 знак., 21.09.2023 01:00, ссылка)
- Вот так звучит прогресс на планете Земля в третьем десятилетии 21 века :) - Evgeny_CD(21.09.2023 01:06)
- Мысль дурная возникла. Возможно, основная фишка - управление длиной
волны синхротронного излучения. Evgeny_CD(316 знак., 21.09.2023 00:23)
- Сдаётся мне что туча сложнейших зеркал в EUV проекторе - это как раз фильтр дикого некогерентного излучения. При наличии хорошего лазера всё сильно упрощается, а изменение длины волны позволит подобрать маски с бОльшим ресурсом. А в перспективе добиться атомарной точности проекции. - =AlexD=(21.09.2023 09:05)
- КПД оптической системы роялит ещё и потому, что поглощение оную
оптику нагревает и выводит из строя. - LightElf(21.09.2023 01:03)
- Это понятно. Но можно найти баланс. Между потерями на
"диафрагмирование" и качеством изображения. - Evgeny_CD(21.09.2023 01:07)
- Там такой ворох проблем что пока и без изменения длинны волны
неплохо работается - по EUV зеркала: habr.com/ru/articles/582510. - Chip_n_Go(21.09.2023 02:18)
- Спасибо! Ссылка Evgeny_CD(1 знак., 21.09.2023 14:09, ссылка)
- Там такой ворох проблем что пока и без изменения длинны волны
неплохо работается - по EUV зеркала: habr.com/ru/articles/582510. - Chip_n_Go(21.09.2023 02:18)
- Это понятно. Но можно найти баланс. Между потерями на
"диафрагмирование" и качеством изображения. - Evgeny_CD(21.09.2023 01:07)
- Подробности про это кольцо. БAPMAЛEЙ(1 знак., 21.09.2023 01:00, ссылка)