-
- На то время по технормам шли ноздря в ноздрю, я бы скорее грешил на
сырье, химию и чистоту материалов. Возможно пытались поднять выход
годных. Тогда этот вопрос стоял очень остро. - Codavr(16.04.2024 09:31)
- И чистоту диффузионных камер. Народ спирт, вместо протирки,
вовнутрь употреблял. - _volkanaft_(16.04.2024 12:18)
- Мелкопроцессоры дифузионной технологией не делали. Ионная
имплантация наше фсе. - Codavr(16.04.2024 13:07)
- Я думаю, с установками ионной имплантации были те же проблемы! :-) - _volkanaft_(16.04.2024 14:12)
- Там камеры постоянно под высоким вакуумом примерно 10е-7 паскалей, и со спиртом туда никто не лезет пока чонить не сломается. Жлюз тоже спиртом если и протирать, то только если он вакуум не держит, но это уже поломка и эксплуатавия имплантера просто не возможна. Пластины в шлюз загружаются в кассете штук на 30 и вынимаются тоже в кассете. Кароче не вижу причин брака если персонал протрет не предусмотренные регламентом оптические оси :) - Codavr(16.04.2024 17:06)
- Я думаю, с установками ионной имплантации были те же проблемы! :-) - _volkanaft_(16.04.2024 14:12)
- Мелкопроцессоры дифузионной технологией не делали. Ионная
имплантация наше фсе. - Codavr(16.04.2024 13:07)
- И чистоту диффузионных камер. Народ спирт, вместо протирки,
вовнутрь употреблял. - _volkanaft_(16.04.2024 12:18)
- На то время по технормам шли ноздря в ноздрю, я бы скорее грешил на
сырье, химию и чистоту материалов. Возможно пытались поднять выход
годных. Тогда этот вопрос стоял очень остро. - Codavr(16.04.2024 09:31)